洁净技术包括空气净化技术、空调技术、水资源净化技术、气体净化技术、痕迹杂质控制技术、洁净环境监测技术等。洁净技术的应用主要通过洁净室实现。润德净化表明,洁净工程有多种分类方式:按用途分为工业洁净室和生物洁净室的洁净室结构分为土建式洁净室和组装式洁净室的气流组织型式分为单向流洁净室和非单向流洁净室。
洁净工程采用组装式,非单向流动的工业洁净室。预制的洁净室基于外部维护结构的完成,采用一定模数的隔板部件进行现场组装,结构简单,组装方便,应用广泛的非单向流洁净工程的原理是稀释淡化的作用,利用洁净空气的不均匀扩散稀释室内的灰尘量,维持室内的洁净度(洁净度6~9级)
洁净工程中最重要的指标是灰尘粒子的浓度。从减少和控制室内灰尘粒子浓度来看,保证洁净度的基本措施如下
1、保持洁净工程内的正压,确保高效过滤器的有效性和工程结构的紧密性,设置人、物净化设施等措施,防止室外污染的直接入侵
2、通过洁净工程建筑内表面结构和设备管道设计,防止灰尘堆积
3、通过合理规划人员流动、物流和材料选择,提高过程自动化水平,控制污染源,减少灰尘产生量
4、合理规划空气分配,有效快速清除房间产生的微小灰尘。在洁净工程中,根据国标GB50073-2013《洁净现场设计规范》,我国洁净室内不同洁净度等级对应的气流型和送风量。
电气系统的设计
质谱仪是集数字、模拟、计算机软件和硬件、真空和离子光学技术于一体的精密仪器。在洁净工程中,电源的稳定性(一般电压要求220×(1±0.05)v、频率要求(50±0.5)hz)和连续性要求高,电源性能的好坏直接关系到谱仪的正常运行和寿命。质谱仪常用的配电模式如下
1、稳压电源供电:来自主配电室的专用电源线通过稳压器供电质谱仪。洁净工程在其中的特点是可以消除电网的变化和变动对质谱仪的影响,但稳压电源不能稳定频率和断电问题,适用于电网稳定地区。
2、不间断电源(不间断电源)供电:自主配电室的专用电源线为不间断电源后的质谱仪供电。UPS是质谱仪的理想电源,不仅可以在断电时继续供电,还具有稳定压力和稳定频率的作用。质谱仪一般要求切断电源后继续工作一段时间,使真空泵、电子部件能够顺利停止。在洁净工程中,UPS的供电时间取决于设备的需求,一般为1~4小时。对于有多台质谱仪的实验室,可以选择UPS集中供电或多台UPS分散供电的模式。
根据国外经验,在净化工程中,大型光谱仪通常为每个光谱仪分别配置不间断电源模式。目前,稳压电源供电和UPS供电是质谱仪的主流供电模式,UPS供电模式投资大,但综合优势非常突出,是大型质谱仪的最佳供电模式。洁净工程采用各质谱仪单独配置UPS的分散供电模式。